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專業(yè)分析導(dǎo)致影像測(cè)量?jī)x誤差的因素

發(fā)布日期:2021-07-22

在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量,測(cè)量時(shí)先對(duì)焦,后對(duì)準(zhǔn),再讀數(shù)(計(jì)數(shù)),最后計(jì)算處理。讀數(shù)來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源,因?yàn)椋谟跋穹椒y(cè)量的儀器,如果被測(cè)件不能被有效正確的照明,則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來源:

在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量,測(cè)量時(shí)先對(duì)焦,后對(duì)準(zhǔn),再讀數(shù)(計(jì)數(shù)),最后計(jì)算處理。讀數(shù)來自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng),對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源,因?yàn)椋谟跋穹椒y(cè)量的儀器,如果被測(cè)件不能被有效正確的照明,則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來源:

(1)光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;

(2)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來的誤差;

(3)工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶來的誤差;

(4)顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶來的誤差;

(5)測(cè)量室溫度偏離20℃參考溫度帶來的誤差;

(6)光源照明條件的變化帶來的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。


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